Thema

Entwicklung eines innovativen Baukastensystems (Toolbox) f¨¹r die universelle Entfernung von Prozessr¨¹ckst?nden in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden. Ziel ist dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligente Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.

Projektbeschreibung

Das technologische Ziel des Verbundprojektes ist die innovative und universelle Entfernung von Prozessr¨¹ckst?nden in der Mikroelektronik-Produktion. Bislang werden die ver?schiedenen prozessbedingten Beschichtungen und Kontaminatio?nen wie z.B. Fotolacke und Klebstoffr¨¹ckst?nde mit aggressiven, z.T. toxischen und umweltbedenklichen Reagenzien wie konzentrierten Laugen und organischen L?semitteln entfernt. Diese Reinigungs?prozesse sind aufwendig und im Hinblick auf Handling, Entsorgung und ressourcenintensiv.

Basis ist die Technologie neuartiger Phasen-Fluide (Intelligent Fluids? IF). Diese bestehen aus mehreren hochbeweglichen Einzelphasen, deren Dynamik dazu f¨¹hrt, dass zu entfernende Schichten physikalisch abgehoben und nicht, wie ¨¹b?lich, chemisch aufgel?st oder wegge?tzt werden. Die Inhaltsstoffe der Fluide (Wasser, Tenside, ?l und Aktivatoren) sind harmlos und werden in Kosmetik- und Nahrungsmittelindustrie verwendet.

Bei der gleichzeitigen Charakterisierung der Interaktionsmechanismen zwischen Beschichtung und den Tensidsystemen und der Analytik zur dynamischen Grenz?fl?chenuntersuchung sollen allgemeing¨¹ltige und modellbildende Profile der Ten?sidsysteme im Hinblick auf die Anwendungsfelder der Mikroelektronik-Produktion ermittelt werden, die zu einem umfassenden Baukastensystem f¨¹r nachhaltige und effiziente Produktionsschritte bei der Halbleiterherstellung zusammengef¨¹hrt werden. Das Vorhaben dient als vertiefendes Forschungsprojekt zur Erkenntnis?gewinnung der Korrelation zwischen Struktur der Tenside im intelligenten Fluid (IF) und der Wirkung der IFs mit dem Ziel einer systematischen datenbasierten IF Modellierung und soll den Aufbau einer modularen IF Toolbox f¨¹r die Anwen?dungen in der Mikroelektronik erm?glichen.

Die Phasen Fluide sind sehr anwenderfreundlich, ressourcenschonend und un?problematisch in der Entsorgung und bieten somit einen innovativen Einstieg in eine nicht-toxische kreislaufbasierte Prozesskette.

Der wissenschaftliche Beitrag der »Ê¹Ú×ãÇòÌåÓý_×ãÇò±È·ÖÖ±²¥£¤Öйú¾º²ÊÍø besteht in der Charakte?risierung der Dynamik der Tensidsysteme und der Wechsel?wirkung mit vernetz?ten Polymerschichten mit Hinblick auf das Verst?ndnis von neuen effiziente?ren Entfernungsstrategien zum Eintritt in eine Kreislaufwirtschaft. Dar¨¹ber hinaus wird das Methodenspektrums der physikochemischen Charakteri?sierung f¨¹r die der Beurteilung der Stabilit?t von Lackschichten und der Mecha?nismen ihrer Zerst?rung erweitert. Der Wechselwirkungsprozess zwischen den Plasmicellen der Reinigungsfluide und den ver?netzten Polymersystemen und die Dynamik der Mizellen bilden die Grund?lage f¨¹r das Ver?st?ndnis des Mechanismus f¨¹r die Unterwanderung und Entfer?nung der Polymere und der ziel?gerichteten Optimierung der f¨¹r eine effiziente Entfernung ben?tigten Tensidsysteme.

Fachbereich:                      INW
Akronym:                           TOMI
Projektleitung:                   Prof. Dr. rer. nat. Valentin Cepus, Chemie / Instrumentelle Analytik und Kunststoffanalytik
F?rdermittelgeber:             Investitionsbank Sachsen-Anhalt (Mittel des Europ?ischen Fonds f¨¹r regionale Entwicklung)
F?rdersumme:                    257.755,59 € (Gesamtprojektvolumen 661.505,18 €)
Laufzeit:                             01.03.2020 ¨C 30.04.2022
Kooperationspartner:         Intelligent fluids GmbH (ausf¨¹hrende Stelle: Betriebsst?tte Leuna)